防靜電工作區(qū)技術(shù)要求GJB3007–97

1范圍

　　1．1主題內(nèi)容

　　本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了供操作靜電放電敏感電子產(chǎn)品用的防靜電工作區(qū)應(yīng)具備的各項(xiàng)技術(shù)要求。

　　1．2適用范圍

　　本標(biāo)準(zhǔn)適用于防靜電工作區(qū)。

　　1．3應(yīng)用指南

　　由于電子產(chǎn)品的靜電放電敏感度不同和防靜電工作區(qū)具體用途以及結(jié)構(gòu)形式的差異，本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的內(nèi)容和要求允許剪裁。

　　1．4分級(jí)

　　按照防靜電工作區(qū)內(nèi)的指定空間所允許的對(duì)地靜電電位值，將防靜電工作區(qū)分為二級(jí)。

　　A級(jí)——允許的對(duì)地靜電電位不超過(guò)±100V；

　　B級(jí)——允許的對(duì)地靜電電位不超過(guò)±1000V；

　　2引用文件

　　GB438——1995防靜電鞋、導(dǎo)電鞋技術(shù)要求

　　GB12014——89防靜電工作服

　　GJB/Z25——91電子設(shè)備和設(shè)施的接地、搭接和屏蔽設(shè)計(jì)指南

　　GJB1649——93電子產(chǎn)品防靜電放電控制大綱

　　SJ/T10694——1996電子產(chǎn)品制造防靜電系統(tǒng)測(cè)試方法

　　3定義

　　3．1術(shù)語(yǔ)

　　3．1．1防靜電工作區(qū)electrostatic discharge protected area

　　配備各種防靜電設(shè)備和器材、能限制靜電電位、具有確定邊界和專門標(biāo)記的適于從事靜電防護(hù)操作的場(chǎng)所。

　　3．1．2操作handling

　　在靜電放電敏感電子產(chǎn)品的制造、老化、篩選、檢測(cè)、裝聯(lián)、包裝、貯存、修理和失效分析等過(guò)程中，直接或間接地作用于產(chǎn)品的有效活動(dòng)。

　　3．1．3接地grounding

　　電子連接到能供給或接受大量電荷的物體（如大地、艦船或運(yùn)載工具外殼等）（見(jiàn)GJB1649第3.1.2條）。

　　3．1．4硬接地hardground

　　直接與大地電極作導(dǎo)電性連接的一種接地方式。

　　3．1．5軟接地softground

　　通過(guò)一足以限制流過(guò)人體的電流達(dá)到安全值的電阻連接到大地電極的一種接地方式。

　　3．1．6大地電極earthelectrode

　　埋于地下與大地保持良好的電氣連接的金屬體或金屬體組。它可以是桿狀的、板狀的或網(wǎng)狀的，為接地系統(tǒng)提供接大地的基準(zhǔn)點(diǎn)。

　　3．1．7靜電耗散材料dissipative materials

　　其表面電阻率等于或大于1x105Ω/，但小于1x1012Ω/；或何種電阻率等于或大于1x104Ω·cm，但小于1x1011Ω/·cm的材料。

　　3．1．8導(dǎo)（靜）電材料（electrostatic）conductive materials

　　其表面電阻率小于1x105Ω/或體積電阻率小于1x104Ω·cm的材料。

　　3．2縮寫詞

　　3．2．1 ESD electrostatic discharge sensitive靜電放電。

　　3．2．2 ESDS electrostatic discharge sensitive靜電放電敏感（的）。

　　3．2．3 EPA electrostatic discharge protected area防靜電工作區(qū)。

　　3．2．4 EBP earth bonding point接地連接點(diǎn)。

　　4一般要求

　　4．1靜電放電敏感符號(hào)

　　靜電放電敏感符號(hào)的式樣、顏色和尺寸以及其簡(jiǎn)化符號(hào)式樣，應(yīng)符合GJB1469附錄C（補(bǔ)充件）的規(guī)定。

　　4．2EPA標(biāo)記符號(hào)

　　EPA標(biāo)記符號(hào)式樣如圖1所示，其最小尺寸為300mm×150mm。標(biāo)記顏色一般采用黃底黑色，應(yīng)避免使用紅色。在圖中*處應(yīng)標(biāo)出級(jí)別代碼（A或B）。


　　4．3接地連接點(diǎn)符號(hào)

　　EPA內(nèi)的接地連接點(diǎn)符號(hào)式樣如圖2所示，其尺寸的大小應(yīng)能夠在普通照明條件下用肉眼清楚辨認(rèn)。標(biāo)記顏色一般采用黃底黑色，應(yīng)避免使用紅色。

　　
　　5詳細(xì)要求

　　5．1靜電電位

　　如無(wú)另外規(guī)定，EPA內(nèi)的靜電電位應(yīng)滿足下列要求，即在任何情況下，在EPA內(nèi)貯存，使用或接受加工的未帶ESD外防護(hù)的ESDS產(chǎn)品周圍300mm空間之內(nèi)任一物體的靜電電位不得超過(guò)該級(jí)EPA允許的對(duì)地靜電電位值。

　　使用準(zhǔn)確度優(yōu)于±10%的非接觸式靜電伏特計(jì)進(jìn)行測(cè)量。

　　5．2構(gòu)造形式

　　EPA的構(gòu)造形式因其具體用途而定?？梢允窍率鰣?chǎng)所之一或其組合：

　　a.一個(gè)操作工作臺(tái)；

　　b.一個(gè)庫(kù)房；

　　c.一個(gè)加工操作間；

　　d.一個(gè)工作機(jī)房；

　　e.一個(gè)活動(dòng)的或固定的工作站；

　　f.一個(gè)維修工作現(xiàn)場(chǎng)。

　　無(wú)論屬于哪一種構(gòu)造形式，它都必須是一個(gè)具有明確劃定邊界（例如，在一寬大的廠房?jī)?nèi)可使用寬度為50mm的黃色警示標(biāo)志線，將防靜電工作區(qū)劃定）的場(chǎng)所，并具有為完成其功能所必需的儀器、設(shè)備和器材。

　　5．3標(biāo)記

　　5．3．1EPA專用標(biāo)記

　　應(yīng)在EPA入口處附近的明顯位置（例如門的上方或門對(duì)面的壁上）貼有符合4.2條規(guī)定的標(biāo)記，標(biāo)記的尺寸大小與EPA的規(guī)模相稱。

　　5．3．2接地標(biāo)記

　　在EPA內(nèi)設(shè)置的供接地用的連接點(diǎn)，并沒(méi)有做處第4.3條規(guī)定的標(biāo)記。

　　5．3．3ESDS產(chǎn)品標(biāo)記

　　在EPA內(nèi)接受加工、裝聯(lián)或在EPA內(nèi)進(jìn)行包裝、貯存的ESDS產(chǎn)品，在產(chǎn)品和內(nèi)包裝上應(yīng)標(biāo)志符合第4.1條或相應(yīng)的產(chǎn)品規(guī)范規(guī)定的靜電放電敏感符號(hào)標(biāo)記。

　　5.4氣候與環(huán)境條件

　　5.4.1溫度

　　EPA內(nèi)應(yīng)裝設(shè)有溫度調(diào)節(jié)裝置,以維持其室溫在15~35℃的范圍內(nèi).采用準(zhǔn)確度優(yōu)于±0.5℃的溫度計(jì)測(cè)量EPA內(nèi)的濕度,并在每日的同一時(shí)間測(cè)量和記錄一次。

　　5．4．2濕度

　　EPA內(nèi)應(yīng)裝設(shè)有濕度度調(diào)節(jié)裝置,以維持其室內(nèi)相對(duì)濕度在45%~75%范圍內(nèi)。采用準(zhǔn)確度優(yōu)于±2%的濕度計(jì)測(cè)量EPA內(nèi)的濕度,并在每日的同一時(shí)間測(cè)量和記錄一次。

　　5．4．3氣壓

　　EPA內(nèi)大氣壓力應(yīng)在86~106kpa范圍內(nèi)。不能滿足上述要求時(shí)，應(yīng)采取調(diào)壓措施。

　　5．4．4靜電消除器

　　在工作臺(tái)面上方的適當(dāng)部位或其他必要部位，應(yīng)裝設(shè)靜電消除器，以消除未打開(kāi)的包裝件上的靜電荷和在操作過(guò)程中因人體、工具及其他物品相互摩擦在工作上所產(chǎn)生的靜電荷靜電消除器應(yīng)能消除任何一種極性的電荷，并在其有效防護(hù)區(qū)域內(nèi)使靜電位保持在規(guī)定值以內(nèi)，中和能力應(yīng)優(yōu)于±250V/s。

　　5．4．5潔凈度（必要時(shí)）

　　需使用潔凈環(huán)境的EPA加工場(chǎng)所，廠房空氣潔凈級(jí)別按有關(guān)工藝設(shè)計(jì)文件規(guī)定。

　　5．5接地

　　EPA應(yīng)具備滿足其使用功能要求的防靜電接地分系統(tǒng)，并通過(guò)大地電極分系統(tǒng)接到大地。此外，EPA通常還需設(shè)置若干其他接地分系統(tǒng)，例如雷電保護(hù)、故障保護(hù)、信號(hào)、參考等分系統(tǒng)。這些接地分系統(tǒng)的作用、配置、安裝方法接地電阻要求及測(cè)量方法等，參見(jiàn)GJB/Z25第5~9章。

　　5．5．1防靜電接地分系統(tǒng)

　　EPA的防靜電接地分系統(tǒng)包括人體防靜電接地、地坪防靜電接地和操作裝置、儀器的防靜電接地等。除個(gè)別指明需采用硬接地者外，一般采用軟接地方式，其接地電阻可由外接電阻、材料內(nèi)固有電阻或它們的組合構(gòu)成。各種防靜電接地的接地電阻要求見(jiàn)5.6條。

　　5．5．2接地安裝注意事項(xiàng)

　　5．5．2．1防靜電接地分系統(tǒng)可利用故障保護(hù)地線或信號(hào)參考地線（直流工作地線）作為接地母線。

　　5．5．2．2不允許交流線路的走線與直線地線緊貼或平行鋪設(shè)，以防以直流信號(hào)造成干擾。

　　5．5．2．3各接地分系統(tǒng)的連線之間應(yīng)當(dāng)相互隔離，為此應(yīng)使用帶絕緣外皮的導(dǎo)線。

　　5．5．2．4各接地干線之間的連接應(yīng)采用釬焊、熔焊或壓力連接件、卡箍等進(jìn)行搭接連接。

　　5．5．2．5防靜電工具、裝置等接地端子允許使用易于裝拆的各種夾式連接器，例如鱷魚夾、插頭座等，但應(yīng)確保電氣連接可靠。

　　5．5．2．6防靜電工作臺(tái)和裝置、設(shè)備等的故障保護(hù)地線應(yīng)采用最小截機(jī)積不小于1.25mm2的多股敷塑導(dǎo)線，外皮顏色為黃綠色。

　　5.6各種器材、用具的靜電性能

　　5.6.1ESD防護(hù)工作臺(tái)面

　　除非制造工藝要求需要使用導(dǎo)（靜）電工作臺(tái)面，EPA內(nèi)的ESD防擴(kuò)工作臺(tái)面應(yīng)使用靜電耗散材料制成并接地良好。推薦工作臺(tái)面尺寸為1200mm×600mm。ESD防護(hù)工作臺(tái)面的對(duì)地電阻和表面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻要求見(jiàn)表1。對(duì)地電阻測(cè)量原理按SJ/T10694的圖7，測(cè)量電表的一端接到腕帶接地插孔上，另一個(gè)電極距此0.9m，測(cè)量5個(gè)點(diǎn)（測(cè)量電極以0.9m為半徑的繞接地插孔旋轉(zhuǎn)移動(dòng)），取其平均值。表面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻測(cè)量原理按SJ/T106409的圖6a，二測(cè)試電極相距0.9m，共測(cè)量5組數(shù)據(jù)取平均值。測(cè)量時(shí)一個(gè)電極以0.9m的半徑繞固定的電極旋轉(zhuǎn)移動(dòng)。

　　表1EPA內(nèi)各種器材的靜電性能要求 5.6.2ESD防護(hù)地板、地墊