特征：
?最適合曝光制程的紫外線波長
在紫外線波長中，USHIO的超高壓UV燈仍可有效運用3線（436nm?405nm?365nm)波長,
是長效型、且具有穩(wěn)定放射照度的高亮度光源。
?發(fā)揮光學系最大性能的點狀光源
弧形大小極接近點狀光源，易于集中與擴散光學系統(tǒng)上的光，因此可以得到均勻的照度分布。
?配合半導體、液晶?彩色濾光片?PDP以及印刷基板用線路成形等各種用途的燈輸出
因應回路與類型燒付照度需求的提高、
小型（100w級）～超大型（35kw級）為止、適用各尺寸的燈具。
?發(fā)揮現(xiàn)有設備最大性能的高照度
因應現(xiàn)有設備Throughput提高的需求、即使僅使用高照度燈、亦可望確實提高產(chǎn)能。
※部分設備商產(chǎn)品則必須實施設備改造。
?對應需求波長的燈具開發(fā)
配合顧客新設備的開發(fā)，開發(fā)出最適合的燈具。詳情請洽詢。
主要用途：
?半導體回路形成用光源
?液晶回路形成用光源
?彩色濾光片回路形成用光源
?電漿顯示器回路形成用光源
?印刷電路板回路形成用光源
?MEMS回路形成用光源
?檢查用光源
?其他新的曝光用途等
