| 低壓力動(dòng)作型單向閥/CVLU | | 動(dòng)作壓力從10kpa~5kpa | | ■低濃度臭氧對(duì)策產(chǎn)品
橡膠材質(zhì)采用HNBR和FKM。
■比較從前產(chǎn)品減少負(fù)離子產(chǎn)生。
內(nèi)部構(gòu)造部件不使用彈簧。
■樹(shù)脂型低成本，輕量化。 |
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| 低壓動(dòng)作單向閥PP材質(zhì)類型/PCVLU | | 可以使用水（液體！本體材質(zhì)：PP，最適合于無(wú)塵車間） | | ■對(duì)銅系金屬不使用，低濃度臭氧對(duì)策，無(wú)潤(rùn)滑油等有要求的產(chǎn)業(yè)最適合。
采用金屬部材質(zhì) SUS304/橡膠材質(zhì) 閥門密封圈：FKM,彈性套：EPDM(可以選配KFM,NBR類型）。
■樹(shù)脂本體顏色為半透明，可以方便確認(rèn)流體（液體）
衛(wèi)生方面也很容易確認(rèn)到。
■動(dòng)作壓力從5kpa開(kāi)始。
低壓動(dòng)作型，可以實(shí)現(xiàn)在使用之前產(chǎn)品無(wú)法實(shí)現(xiàn)動(dòng)作的壓力下確保通暢的流量。
■構(gòu)造零件不使用彈簧，對(duì)比之前產(chǎn)品有效降低異響發(fā)生。
■為客戶準(zhǔn)備了2種外包裝形式
通常型和可以選擇在無(wú)塵室內(nèi)（ISO class6)使用無(wú)塵空氣清潔后包裝型。 |
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流量傳感器/FUS20 |
| 對(duì)流量管理有要求及用壓力傳感器比較難以確認(rèn)的小型工件吸著情況下推薦使用。 |
| ■調(diào)整閥門一體系
流量調(diào)整旋鈕和傳感器一體化。省去配管安裝環(huán)節(jié)，節(jié)省空間。
■面板安裝可能
豐富了面板安裝用支架種類。
■2種表示/2種顏色表示機(jī)能
■可以設(shè)定主畫(huà)面和輔助畫(huà)面，提高操作性能，采用雙顏色顯示，對(duì)異常情況判斷一目了然。
■高精度實(shí)現(xiàn)+3%F.S.，可以正確測(cè)量流量。
■高速應(yīng)答50msec以下。
■采用適用于微型加工設(shè)備的白金傳感器芯片，實(shí)現(xiàn)高速應(yīng)答反應(yīng)。 |
| 真空泵系統(tǒng)對(duì)應(yīng)單元VIP | | 貢獻(xiàn)于消減工件吸著搬送的壓縮空氣消費(fèi)量 | | ■選配流量傳感器的搭載，小型的工件吸著狀態(tài)也可以得到確認(rèn)。
在流量傳感器搭載型基礎(chǔ)上進(jìn)行升級(jí)（史上最初開(kāi)發(fā)）。之前使用的壓力傳感器搭載型和無(wú)傳感器型也繼續(xù)使用。
半導(dǎo)體關(guān)聯(lián)裝置（貼片機(jī)，？）和吸著搬送小型工件裝置更加適合使用。
■可以實(shí)現(xiàn)超小型大流量真空切換（本公司最小型！高61.3mm,深56.8mm)
供給80kpa時(shí)，達(dá)到8.5L/min(ANR)以上。
■真空破壞空氣流量調(diào)整方法選擇也變?yōu)榭赡堋?br />除了帶真空破壞空氣流量調(diào)整螺絲型之外，低成本的真空破壞空氣流量固定型（0.5kpa供給時(shí),9.5L/min(ANR)以上。 |
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