膜厚測試儀為多種不同表面提供全面形貌分析，包括半導(dǎo)體硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、精加工表面、光電子、薄膜/化學涂層、生物醫(yī)學器件和平板顯示。使用金剛石探針接觸測量的方式來實現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。
參數(shù) Ra,Rq,Ry,Rp,Rv,Rc,Rz,Rmax.Rt,Rz.J.R3z.Sm.S.R△q.Rla.Rlq.
TLLTA.lr.Pc.Rsk.Rku.Rk.Rpk.Rvk.Mr1.Mr2.Vo.K.tp.Rmr.tp2.Rmr2.Rdc AVH.Hmax.Hmin.AREA.NCRX.R.Rx.AR.NR.CPM.SR.SAR
1、 測試范圍：X軸：50mm Y軸：800mm(測量范圍/分辯率：800mm/10nm)
2、 直線度精度：0.3mm/50mm
3、 規(guī)格要求：滿足JIS-1994/ISO-1997/ASME-1995/ DIN-1990/CNOMO規(guī)格
4、 分析項目：可提供剖面曲線、粗糙度曲線、濾波波紋度曲線、濾波中心線波紋度曲線、滾動圓波紋度曲線、滾動圓中心線波紋度曲線、DIN4776特殊曲線、粗糙度中心曲線、波紋度中心曲線
5、 表面特性圖表:可提供負荷曲線、功率譜曲線圖、振幅分布曲線
6、 傾斜補償方式：直線補償、R面補償、前半補償、后半補償、兩端補償、花鍵補償、（直線、R面、兩端補償可以在任意范圍內(nèi)）
7、 倍率要求：
縱倍率：50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、100K、200K＊、500K＊、自動
橫倍率：1、2、5、10、20、50、100、200、500、1K、2K、自動
8、 濾波器的種類：標準型濾波器2RC、相位補償型濾波器2RC、相位補償型濾波器（高斯濾波器）
9、 測量速度：0.3、0.6、1..5 3mm/s(4速)
10、 傳感器：前端半徑2mm、材質(zhì)為金剛石
11、 其他要求：提供測量AI，段差分析功能，PC卡
標準配件 標準片E-MC-S24B、記錄紙（E-CH-S21A）、觸摸筆（E-MA-S54A）操作說明書
